ニュース

場合

送信

Mrs. Qi Lan

lan.qi@ionexchange-resins.com

86--17705297870

今接触

YZ001とYZ002 均質粒子樹脂ヨーロッパの半導体超純水プロジェクト

2026-02-11

プロジェクトの背景

ドイツの専門的な半導体ウェーハ製造施設では、コアチップのエッチングおよび精密洗浄プロセスに超高純度のプロセス水を必要としています。工場のオリジナルの標準混合床樹脂は不均一な粒子サイズを特徴としていたため、水流のチャネリング、不安定な抵抗率出力、および時折の TOC 超過が発生しました。これらの不一致は、ウェーハの歩留まりと全体的な生産の安定性に悪影響を及ぼしました。

現場での課題

1. 樹脂の粒径が不均一なため、水の分布が不均一になり、イオン交換効率が低下します。

2. 従来の樹脂には過剰な可溶性浸出物が含まれており、厳密な電子グレードの水純度仕様を満たしていませんでした。

3. 耐汚染性が限られているため、長期間の連続運転中に徐々に性能が低下します。

カスタマイズされたソリューション

最終段階の研磨混合床として、電子グレードの YZ001 均一粒子カチオン樹脂と YZ002 均一粒子アニオン樹脂を推奨します。厳密に制御された粒子の均一性により、樹脂は床の流れのチャネリングを排除し、可溶性不純物の放出を最小限に抑え、優れた有機汚れ耐性を実現します。また、延長された運転サイクルにわたって一貫した高純度水の出力を保証するために、システムの再生スケジュールを最適化しました。

申請結果

1. 超純水システムは、18.2 MΩ・cm の安定した抵抗率を維持し、TOC レベルは一貫して 1ppb 未満であり、国際的な半導体製造純度基準を完全に満たしています。

2. システム全体の安定性が大幅に向上し、連続的な水生成の実行時間が効果的に延長されます。

3. 一貫した超高純度の水により、施設ではウェーハの歩留まりが向上し、製造不良率が減少しました。

クライアントレビュー

「これらの均一な粒子樹脂は、非常に安定した超純水の性能を実現し、高精度の半導体製造に対する当社の厳しい要件を完全に満たします。」 —— ドイツ半導体工場、給水システムエンジニア

ニュース

場合

YZ001とYZ002 均質粒子樹脂 ヨーロッパの半導体超純水プロジェクト

YZ001とYZ002 均質粒子樹脂ヨーロッパの半導体超純水プロジェクト